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ROHS金屬成分分析儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了高的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現了高的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。

JXA-iHP200F 場發射電子探針顯微分析儀在保持高局部微量元素分析性能的同時，追求每個人都能簡單快速地使用好儀器。該儀器能更加有效地進行觀察分析和操作，是更先進的一體化集成FE-EPMA。

JXA-iSP100 電子探針顯微分析儀在保持高局部微量元素分析性能的同時，追求每個人都能簡單快速地使用好儀器。該儀器能更加有效地進行觀察分析和操作，是更先進的一體化EPMA。